Kalıcı mıknatıs düzenekleri, modern litografi makinelerinde nanometre düzeyinde ultra hassas hareket sağlayan temel teknolojilerden biridir. Bugüne kadar birçok önde gelen üniversite bu alanda aktif olarak araştırma yapmakta ve sanayileşmeyi kademeli olarak ilerletmektedir.
Başlıca uygulama alanları ve değeri aşağıdaki üç hususta yansıtılmaktadır:
1. Temassız çalıştırmayı etkinleştirme
Kalıcı mıknatıslı düzlemsel motor teknolojisini kullanan sistem, bir dizi kalıcı mıknatısı elektromanyetik bobinlerle entegre eder. Manyetik kuvvetle tahrik sayesinde, hareketli bileşenler (örneğin yonga tablası) iki boyutlu bir düzlemde temassız, sürtünmesiz “manyetik kaldırma” hareketi gerçekleştirir. Bu, geleneksel mekanik sürtünmenin neden olduğu aşınmayı, titreşimi ve ısıyı temelden ortadan kaldırarak ultra yüksek hassasiyet ve yüksek hızlı hareket elde etmenin temelini oluşturur.
2. Yüksek hassasiyet ve dinamik performans sunmak
Yüksek hassasiyet: Kalıcı mıknatıslar güçlü ve kararlı bir statik manyetik alan sağlar. Yüksek hassasiyetli sensörler ve gelişmiş kontrol sistemleriyle birleştirildiğinde, bu düzenek nanometre hatta nanometre altı seviyede tekrarlanabilir konumlandırma doğruluğu elde edebilir.
Yüksek hız ve yüksek ivme:Doğrudan tahrikli yapılandırma, ara iletim mekanizmalarını ortadan kaldırarak düşük atalet sağlar ve tablanın son derece yüksek ivmeyle tarama hareketleri gerçekleştirmesine olanak tanır. Bu da litografi makinesinin verimliliğini önemli ölçüde artırır.
3. Makro-mikro kompozit yapıları desteklemek:
Makro ve mikro hareket sistemlerini entegre eden ileri aşama tasarımlarında:
- Makro aşama: Genellikle büyük stroklu ve yüksek hızlı hareketlerden sorumlu olan kalıcı mıknatıslı lineer motorlarla çalıştırılırlar.
- Mikro aşama: Makro hareketin yanı sıra nanometre düzeyinde hassas ayarlamalar ve telafiler elde etmek için kalıcı mıknatıslara dayalı altı serbestlik dereceli manyetik kaldırma mekanizması kullanır ve sonuç olarak olağanüstü yüksek örtüşme doğruluğu sağlar.
Özetle, Kalıcı mıknatıs düzenekleri, sürtünmesiz ve son derece kararlı manyetik kaldırma hareketi sağlayarak, litografi tablası hareket kontrol sistemlerinde ultra yüksek hassasiyet, ultra yüksek hız ve ultra yüksek güvenilirlik için gerekli fiziksel temeli oluşturur. Litografi makinelerinin hassas litografik işlemler gerçekleştirmesini sağlayan vazgeçilmez bir teknolojidir.
