Os conjuntos de ímãs permanentes são uma das tecnologias essenciais que permitem movimentos de ultraprecisão em nível nanométrico em máquinas de litografia modernas. Até o momento, muitas universidades de ponta têm conduzido pesquisas ativamente e avançado gradualmente na industrialização dessa área.
Suas principais aplicações e valor se refletem nos três aspectos a seguir:
1. Habilitar a atuação sem contato
Ao empregar a tecnologia de motor planar de ímã permanente, o sistema integra uma matriz de ímãs permanentes com bobinas eletromagnéticas. Através da atuação por força magnética, os componentes móveis (como a plataforma de wafers) alcançam um movimento de “levitação magnética” sem contato e sem atrito em um plano bidimensional. Isso elimina fundamentalmente o desgaste, a vibração e o calor causados pelo atrito mecânico tradicional, formando a base para alcançar movimentos de altíssima precisão e alta velocidade.
2. Oferecer alta precisão e desempenho dinâmico.
Alta precisão: Ímãs permanentes fornecem um campo magnético estático forte e estável. Combinados com sensores de alta precisão e sistemas de controle avançados, o sistema consegue atingir uma precisão de posicionamento repetível em nível nanométrico ou até mesmo subnanométrico.
Alta velocidade e alta aceleração:A configuração de acionamento direto elimina mecanismos de transmissão intermediários, resultando em baixa inércia e permitindo que a plataforma execute movimentos de varredura com aceleração extremamente alta. Isso aumenta significativamente a produtividade da máquina de litografia.
3. Suporte a estruturas compostas macro-micro:
Em projetos de palco avançados que integram sistemas de macro e micromovimento:
- Etapa macro: Normalmente acionados por motores lineares de ímã permanente, responsáveis por movimentos de grande curso e alta velocidade.
- Microestágio: Utiliza um mecanismo de levitação magnética de seis graus de liberdade baseado em ímãs permanentes para realizar ajustes e compensações precisas em nível nanométrico, além do movimento macroscópico, garantindo, em última análise, uma precisão de sobreposição excepcionalmente alta.
Resumindo, Os conjuntos de ímãs permanentes permitem a atuação por levitação magnética sem atrito e altamente estável, fornecendo a base física necessária para ultraprecisão, ultravelocidade e ultra-confiabilidade em sistemas de controle de movimento de plataformas de litografia. Trata-se de uma tecnologia indispensável que possibilita às máquinas de litografia realizar operações litográficas de precisão.
