Сборки с постоянными магнитами являются одной из ключевых технологий, обеспечивающих сверхточную нанометровую точность перемещения в современных литографических машинах. На сегодняшний день многие ведущие университеты активно проводят исследования и постепенно продвигают индустриализацию в этой области.
Его основные области применения и ценность отражены в следующих трех аспектах:
1. Обеспечение бесконтактного управления
Благодаря использованию технологии планарных двигателей с постоянными магнитами, система объединяет массив постоянных магнитов с электромагнитными катушками. За счет магнитной силы движущиеся компоненты (например, платформа для пластин) достигают бесконтактного, безфрикционного движения «магнитной левитации» в двухмерной плоскости. Это принципиально исключает износ, вибрацию и нагрев, вызванные традиционным механическим трением, что является основой для достижения сверхвысокой точности и высокой скорости движения.
2. Обеспечение высокой точности и динамических характеристик.
Высокая точность: Постоянные магниты обеспечивают сильное и стабильное статическое магнитное поле. В сочетании с высокоточными датчиками и передовыми системами управления установка позволяет достичь повторяемой точности позиционирования на нанометровом или даже субнанометровом уровне.
Высокая скорость и высокое ускорение:Конфигурация с прямым приводом исключает промежуточные механизмы передачи, что приводит к низкой инерции и позволяет платформе выполнять сканирующие движения с чрезвычайно высоким ускорением. Это значительно повышает производительность литографической машины.
3. Опорные макро- и микрокомпозитные структуры:
В проектах на продвинутой стадии разработки, интегрирующих системы макро- и микроперемещения:
- Макроэтап: Как правило, они приводятся в движение линейными двигателями с постоянными магнитами, обеспечивающими большие ходы и высокие скорости перемещения.
- Микроступень: В основе системы лежит шестистепенной механизм магнитной левитации на основе постоянных магнитов, позволяющий выполнять точную настройку и компенсацию на нанометровом уровне в дополнение к макросъемке, что в конечном итоге обеспечивает исключительно высокую точность совмещения.
В итоге, Сборки с постоянными магнитами обеспечивают беспрепятственное и высокостабильное движение под действием магнитной левитации, создавая физическую основу, необходимую для сверхвысокой точности, сверхвысокой скорости и сверхвысокой надежности в системах управления движением литографических столиков. Это незаменимая технология, позволяющая литографическим машинам выполнять высокоточные литографические операции.
