I gruppi magnetici permanenti sono una delle tecnologie fondamentali che consentono movimenti ultra-precisi a livello nanometrico nelle moderne macchine litografiche. Ad oggi, molte importanti università hanno condotto attivamente ricerche e hanno gradualmente promosso l’industrializzazione in questo campo.
Le sue principali applicazioni e il suo valore si riflettono nei seguenti tre aspetti:
1. Abilitazione dell’attuazione senza contatto
Utilizzando la tecnologia dei motori planari a magneti permanenti, il sistema integra una serie di magneti permanenti con bobine elettromagnetiche. Attraverso l’azionamento a forza magnetica, i componenti mobili (come lo stadio wafer) realizzano un movimento di “levitazione magnetica” senza contatto e senza attrito su un piano bidimensionale. Ciò elimina sostanzialmente usura, vibrazioni e calore causati dal tradizionale attrito meccanico, costituendo la base per ottenere un movimento ad altissima precisione e alta velocità.
2. Offre elevata precisione e prestazioni dinamiche
Alta precisione: I magneti permanenti forniscono un campo magnetico statico potente e stabile. In combinazione con sensori ad alta precisione e sistemi di controllo avanzati, la configurazione può raggiungere una precisione di posizionamento ripetibile a livello nanometrico o addirittura sub-nanometrico.
Alta velocità e alta accelerazione:La configurazione a trasmissione diretta elimina i meccanismi di trasmissione intermedi, riducendo l’inerzia e consentendo al tavolino di eseguire movimenti di scansione con accelerazioni estremamente elevate. Ciò aumenta significativamente la produttività della macchina litografica.
3. Supporto di strutture composite macro-micro:
Nelle progettazioni in fase avanzata che integrano sistemi di macro e micro-movimento:
- Fase macro: Solitamente azionati da motori lineari a magneti permanenti, responsabili di movimenti ad alta velocità e corse elevate.
- Microstadio: Utilizza un meccanismo di levitazione magnetica a sei gradi di libertà basato su magneti permanenti per ottenere regolazioni e compensazioni di precisione a livello nanometrico oltre al movimento macro, garantendo in definitiva una precisione di sovrapposizione eccezionalmente elevata.
In sintesi, I gruppi magnetici permanenti consentono un’attuazione della levitazione magnetica senza attrito e altamente stabile, fornendo la base fisica necessaria per sistemi di controllo del movimento della fase litografica ad altissima precisione, altissima velocità e altissima affidabilità. Sono una tecnologia indispensabile che consente alle macchine litografiche di eseguire operazioni litografiche di precisione.
