Los conjuntos de imanes permanentes son una de las tecnologías clave que permiten el movimiento de ultraprecisión a nivel nanométrico en las máquinas de litografía modernas. Hasta la fecha, numerosas universidades líderes han estado investigando activamente y avanzando gradualmente en la industrialización de este campo.
Sus principales aplicaciones y valor se reflejan en los tres aspectos siguientes:
1. Habilitación de la actuación sin contacto
Mediante la tecnología de motor planar de imanes permanentes, el sistema integra un conjunto de imanes permanentes con bobinas electromagnéticas. Mediante la actuación de fuerza magnética, los componentes móviles (como la platina de oblea) logran un movimiento de levitación magnética sin contacto ni fricción en un plano bidimensional. Esto elimina fundamentalmente el desgaste, la vibración y el calor causados por la fricción mecánica tradicional, sentando las bases para lograr un movimiento de ultraalta precisión y alta velocidad.
2. Ofrece alta precisión y rendimiento dinámico.
Alta precisión: Los imanes permanentes proporcionan un campo magnético estático potente y estable. En combinación con sensores de alta precisión y sistemas de control avanzados, la configuración puede lograr una precisión de posicionamiento repetible a escala nanométrica o incluso subnanómetro.
Alta velocidad y alta aceleración:La configuración de accionamiento directo elimina los mecanismos de transmisión intermedios, lo que resulta en una baja inercia y permite que la platina realice movimientos de escaneo con una aceleración extremadamente alta. Esto mejora significativamente el rendimiento de la máquina de litografía.
3. Soporte de estructuras compuestas macro-micro:
En diseños de etapas avanzadas que integran sistemas de macro y micromovimiento:
- Etapa macro: Generalmente accionados por motores lineales de imanes permanentes, responsables de movimientos de gran recorrido y alta velocidad.
- Microetapa: Utiliza un mecanismo de levitación magnética de seis grados de libertad basado en imanes permanentes para lograr ajustes y compensaciones finas a nivel nanométrico sobre el movimiento macro, lo que en última instancia garantiza una precisión de superposición excepcionalmente alta.
En resumen, Los conjuntos de imanes permanentes permiten un accionamiento de levitación magnética sin fricción y altamente estable, proporcionando la base física necesaria para una precisión, velocidad y fiabilidad ultraaltas en los sistemas de control de movimiento de platinas litográficas. Constituyen una tecnología indispensable que permite a las máquinas litográficas realizar operaciones litográficas de precisión.
