Les assemblages d’aimants permanents constituent l’une des technologies clés permettant un mouvement ultra-précis à l’échelle nanométrique dans les machines de lithographie modernes. À ce jour, de nombreuses universités de premier plan mènent activement des recherches et contribuent progressivement à l’industrialisation de ce domaine.
Ses principales applications et sa valeur se reflètent dans les trois aspects suivants :
1. Activation sans contact
Grâce à la technologie des moteurs planaires à aimants permanents, le système intègre un ensemble d’aimants permanents et de bobines électromagnétiques. Par actionnement magnétique, les composants mobiles (comme le porte-plaquette) bénéficient d’un mouvement de « lévitation magnétique » sans contact et sans frottement sur un plan bidimensionnel. Ce procédé élimine l’usure, les vibrations et la chaleur générées par les frottements mécaniques traditionnels, permettant ainsi d’atteindre une précision et une vitesse de mouvement exceptionnelles.
2. Offrir une haute précision et des performances dynamiques
Haute précision : Les aimants permanents génèrent un champ magnétique statique puissant et stable. Associés à des capteurs de haute précision et à des systèmes de contrôle avancés, ils permettent d’atteindre une précision de positionnement reproductible de l’ordre du nanomètre, voire du subnanomètre.
Vitesse élevée et forte accélération :La configuration à entraînement direct élimine les mécanismes de transmission intermédiaires, ce qui réduit l’inertie et permet à la platine d’effectuer des mouvements de balayage avec une accélération extrêmement élevée. Ceci améliore considérablement le débit de la machine de lithographie.
3. Support des structures composites macro-micro :
Dans les conceptions de scènes avancées intégrant des systèmes de macro- et micro-mouvement :
- Étape macro : Généralement entraînés par des moteurs linéaires à aimants permanents, responsables des mouvements à grande course et à grande vitesse.
- Micro-étage : Utilise un mécanisme de lévitation magnétique à six degrés de liberté basé sur des aimants permanents pour réaliser des ajustements et des compensations fins au niveau nanométrique en plus du mouvement macroscopique, assurant ainsi une précision de superposition exceptionnellement élevée.
En résumé, Les ensembles d’aimants permanents permettent une actionnement par lévitation magnétique sans frottement et d’une grande stabilité, constituant ainsi le fondement physique indispensable à l’ultra-haute précision, à la très haute vitesse et à l’ultra-haute fiabilité des systèmes de commande de mouvement des platines de lithographie. Cette technologie est essentielle au bon fonctionnement des machines de lithographie et leur permet de réaliser des opérations lithographiques de haute précision.
